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岡崎 哲治; 田村 浩司; 足立 肇; 大場 弘則; 雨川 和博*; 柴田 猛順
JAERI-Tech 98-020, 17 Pages, 1998/06
希土類金属(セリウム、ガドリニウム、ディプロシウム、サマリウム、イッテルビウム)を電子ビーム加熱により蒸発させ、その原子ビーム速度を真空天秤を用いて測定した。蒸発源から382mm上方に設置した天秤蒸着板への蒸発原子蒸着による運動量変化に伴う重量変化から蒸着速度と原子ビーム速度を算出した。セリウム、ガドリニウムの速度は、蒸発量増加に伴い1000~1100m/sまで加速されるが、ディスプロシウム、サマリウム、イッテルビウムの昇華性金属の速度は蒸発量にあまり依存せず、450~650m/sとほぼ一定で熱平衡速度に近い値であった。昇華性金属を電子ビーム加熱した場合は、広い領域から蒸発するので蒸発面近傍での原子間衝突が少なく、膨張冷却による加速がないためと考えられる。
玉田 正男; 大道 英樹; 奥居 徳昌*
Thin Solid Films, 251, p.36 - 39, 1994/00
PVDと熱CVDを組み合わせた蒸着重合法により、N-メチロールアクリルアミド(NMAA)の重合薄膜が得られた。蒸着速度はルツボが一定温度の条件で、フィラメント温度の増加とともに増加した。この現象は基板上のNMAAの重合が関与していると考えられる。フィラメント温度が2300Kの時、蒸着速度は蒸着途中で印加した電場に影響されなかった。ハイドロキノンと共蒸着した場合、フィラメント温度の上昇は蒸着速度に影響を与えなかった。このことから、重合はフィラメントの作用で生じたフラグメントラジカルである可能性が高い。重合収率と分子量の最大値はフィラメント温度が2300Kの時で、それぞれ52%、2.1
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であった。この重合では重合収率、分子量、及び高分子の数の三つの要因は協奏的に増加した。
thin films prepared with PVD玉田 正男; 大道 英樹
Thin Solid Films, 232, p.13 - 15, 1993/00
被引用回数：2 パーセンタイル：33.61(Materials Science, Multidisciplinary)トリエチルアミン-テトラシアノキノジメタン電荷移動錯体塩TEA(TCNQ)を温度の異なる基板の上に1.2nm/minの蒸着速度で蒸着し、200nmの厚みの錯体塩膜を得た。蒸着塩溶液のUVスペクトル及び薄膜のIRスペクトルから蒸着膜の組成を求め、蒸発された錯体の組成と比較した。250K,270KではTEA
(TCNQ
)
(TCNQ
)
及びTEA
(TCNQ)
(TCNQ)
の混合物、290K,300KではTEA
(TCNQ)(TCNQ)
となった。{l/(m+n)=0.05,o/(p+q)=0.63,(m+p)/(n+0)=2/5}蒸着により通常得られる錯体とは異った組成の膜が得られることが示唆された。
